壓印技術的核心、母盤加工技術

微觀結構在薄膜上形成的流程

迪睿合的捲對卷壓印技術可以在長達數百公尺的薄膜上連續形成數百奈米至數百微米的微結構。

下圖展示了卷對卷壓印製程的概念。塗有紫外線固化樹脂的基底膜從左側移入，壓在中心用於微結構的圓柱形母模上，然後移至右側。當基膜經過母模下方時，樹脂被模具塑形，並經過紫外線固化，將微結構圖案轉印到基板表面。

無縫精密圓筒母盤的制作方法

本公司擁有“光刻加工”和“精密機械加工”兩種技術，用於將微細結構轉印到薄膜基材上。下圖是通過激光繪制光刻在圓柱形母材上繪制精細結構形狀的示意圖。稱為光刻膠的樹脂塗在圓柱形母材的表面上，並且在通過預先計算的運動在光刻膠上繪制圖案之後，應用稱為幹蝕刻的處理以應用等離子化氣體以形成精細結構。光刻加工可以在母盤上雕刻納米級的精衹圖案。

另一種母盤的制作方法是通過機械進行精密加工。在旋轉金屬圓柱形母材的同時，用金剛石等高硬度刀具 (刀片) 進行切削，在表面形成微細結構。根據刀刃的形狀和大小，可以刻出各種形狀的圖案。

精密機械加工的驚人加工精度

利用精密機械加工制作母盤時，小尺寸產品即可形成單位的微細結構，實現了高精度加工。圓筒母盤以不銹鋼和鐵等金屬為母材，長度高達1600mm,可一次性大面積復制微細結構。

精密機械加工中重要的是加工環境的控制。如果加工過程中室內溫度增加1°C,則1600mm長金屬的熱膨脹將增加約20μm (0.02mm) 。如果要加工的微觀結構是幾μm尺寸，則這是一個不容忽視的變化。另外，用刀具切削的部分也會產生摩擦熱等。為了進行高精度的機械加工，穩定的加工環境是不可或缺的。Deccelerials無人自動加工自不必說，還嚴格控制室溫、母材溫度等影響加工精度的參數，以高精度加工所需形狀。

母盤加工的切削工藝

這是顯示精密機械加工過程的圖表。首先，在施加在母材上的快削性電鍍層上，用適當的刀具刻上所需的細微圖案。接下來，試驗性地形成UV薄膜，用掃描電子顯微鏡 (SEM) 進行測量、評價後，進行清洗和脫模處理※，完成壓印用圓筒母盤。

※壓模樹脂容易從母盤上剝離的加工。

精密機械加工的微細形狀的事例

這張照片是通過精密機械加工使用母板制成的“用於液晶電視的亮度增強透鏡薄膜”的電子顯微鏡的放大圖像。刻在表面的山形的大小和形狀可根據切削刀具的大小和形狀進行各種變化。

通過精密機械加工技術產生的微觀結構可以根據其形狀控制各種光和熱的反射。Dexcerials以壓印用圓筒母盤的精密機械加工技術為基礎，為實現材料所不具備的功能而不斷推進研究開發，不斷追求新產品的可能性。